华慧芯科技集团
华慧芯集团
华慧芯科技集团是国内高端光电子工艺研发代工的开拓者,是天津市首批瞪羚企业(入库登记编号DL20191106BH00134),是国家级高新技术企业,已完成B轮融资,主营业务为高端光电芯片的工艺代工,及高新技术企业的投资孵化。
华慧芯科技集团目前拥有近百人的高水平技术团队,1500㎡的研发中心,18000㎡的生产基地。设有博士后科研工作站,培养在站博士后1人。拥有国内先进的、完备的光电子器件研发设备,支持III-V族化合物、硅基半导体、二维材料、金属材料等光电子芯片的研发、表征及分析。
华慧芯科技集团2020年成为天津市科技局立项支持的市级中试平台,目前已为400余家机构提供了高端光电子工艺研发代工的技术服务。
高端光电子芯片工艺研发
  • III-V激光器全套工艺流片

    三五族半导体激光器芯片广泛应用于光通信、光学传感和生物医疗等领域,平台具备完善的三五族半导体激光器芯片流片设备及流片工艺,包括光刻、刻蚀、薄膜、划裂、测试及分选等,可以将外延片加工为成品芯片,为客户提供芯片研发、中试和小批量生产的技术服务。
  • 硅光集成芯片

    硅光集成芯片作为新一代光电集成芯片,将多种微纳结构集成在一起,使之具备一定的功能。平台可加工波导、微环、分束器、耦合光栅等器件。
  • 光刻及配套工艺

    可应用于微型光栅、光子晶体、光学超表面、纳米压印模板等的制作与加工。
微纳结构和材料表征分析
  • 激光器截面切割&表征
  • 二次电子成像
  • STEM-LiMnO八面颗粒
  • LaMnO3/SrTiO3薄膜晶格结构